旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、CD、制版等表面鍍膜工藝，可用于強(qiáng)酸和強(qiáng)堿涂膜溶液的涂膜制備。該機(jī)可以對(duì)鍍膜機(jī)的腔體抽真空，使樣品在真空的狀態(tài)下進(jìn)行鍍膜，適合使用在空氣中容易氧化變質(zhì)的薄膜材料。鍍膜機(jī)工作時(shí)，樣品通過(guò)真空托盤(pán)吸附固定在樣品裝載托盤(pán)上。該設(shè)備可存儲(chǔ)12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。設(shè)備在不同運(yùn)行階段的不同轉(zhuǎn)數(shù)，使設(shè)備緩慢提高到極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，不會(huì)浪費(fèi)太多，從而節(jié)省材料，具有操作簡(jiǎn)單、清洗方便、體積小等優(yōu)點(diǎn)，主要用于各大學(xué)和研究所的實(shí)驗(yàn)室生成薄膜。
 

　　

　　1、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)共有12組程序，每組包括6個(gè)運(yùn)行階段。每級(jí)升降速率的設(shè)定范圍為100-2000rpm/s，每級(jí)時(shí)間范圍為0-60s。

　　

　　2、樣品可以通過(guò)真空吸附或粘接或夾緊來(lái)固定，操作簡(jiǎn)單。

　　

　　3、吸盤(pán)的真空度可以達(dá)到-0.08MPa。

　　

　　4、使用定位工具，樣品可以很容易地放置在中心位置，以減少偏心引起的振動(dòng)或飛片。

　　

　　5、可根據(jù)樣品規(guī)格使用不同的吸盤(pán)，更換方便簡(jiǎn)單。

　　

　　6、電機(jī)采用DC無(wú)刷電機(jī)，無(wú)級(jí)調(diào)速，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修保養(yǎng)簡(jiǎn)單，噪音低，振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動(dòng)快速平穩(wěn)，加速后運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，能保證涂層厚度的一致性和均勻性。

　　

　　7、真空吸附固定樣品時(shí)，采用無(wú)油平行桿真空泵，具有體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作簡(jiǎn)單、維修方便、無(wú)環(huán)境污染等優(yōu)點(diǎn)。

　　

　　8、涂覆可以在惰性氣體氣氛中進(jìn)行。

　　

　　9、涂覆可以在真空狀態(tài)下進(jìn)行。此時(shí)，需要通過(guò)粘合基板或夾緊基板來(lái)固定涂覆的基板。

　　

　　10、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)腔體整體由聚丙烯制成，使用壽命更長(zhǎng)，耐化學(xué)腐蝕性能提高，抗應(yīng)力開(kāi)裂性能優(yōu)異。

　　

　　11、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能。當(dāng)涂層過(guò)程中或涂層結(jié)束時(shí)打開(kāi)蓋子時(shí)，機(jī)器將快速減速直至停止。

　　

　　12、控制器采用控制箱，液晶顯示數(shù)值，更加直觀可靠。